在具有新型諧振腔的微波等離子體CVD裝置上，利用乙醇和氫氣為工作氣體在石英玻璃管外表面沉積了均勻、致密的納米金剛石薄膜。采用掃描電子顯微鏡、Raman光譜及X射線(xiàn)衍射表征了金剛石薄膜的質(zhì)量；設計腐蝕實(shí)驗檢驗了金剛石薄膜的抗腐蝕效果。結果表明：在反應氣壓為5．5 kPa、碳源濃度為8 vo1％、石英玻璃管溫度為500oC的條件下，得到的納米金剛石薄膜能有效增強石英玻璃管的抗腐蝕性能。 

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